WF6 daugiausia naudojamas kaip žaliava cheminio garų nusodinimo (CVD) procesui, kurio metu metalas volframas gaminamas elektronikos pramonėje. Iš WF6 pagamintas WSi2 gali būti naudojamas kaip laidų medžiaga didelio masto integriniuose grandynuose (LSI), taip pat kaip žaliava puslaidininkių elektrodams, fluoro žaliavoms cheminėms medžiagoms, polimerizacijos katalizatoriams, optinėms medžiagoms ir kt.